Handbook of silicon wafer cleaning technology

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Altres autors: Kern, Werner
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: Norwich William Andrew 2008
Edició:2nd
Matèries:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Descripció
Descripció de l’ítem:
Descripció física:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Ítems similars