Reinhardt, K. A., & Kern, W. (2008). Handbook of silicon wafer cleaning technology (2nd.). William Andrew.
Παραπομπή Chicago StyleReinhardt, Karen. A., και Werner Kern. Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology. 2nd. Norwich: William Andrew, 2008.
Παραπομπή MLAReinhardt, Karen. A., και Werner Kern. Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology. 2nd. William Andrew, 2008.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.