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MEMS

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mahalik, Nitaigour Premchand
Format:	Printed Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	New Delhi Tata McGraw-Hill 2007
Schlagworte:	Microelectronics > Electronics > Semiconductors > Microelectromechanical systems > MEMS > Micro sensors

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