Microsensor, MEMS and smart devices

Détails bibliographiques
Auteur principal: Gardner, Julian W.
Format: Printed Book
Langue:English
Publié: Chichester John Wiley & Sons 2007
Sujets:
Microelectronics > Electronics > Semiconductors > MEMS > Microelectromechanical systems > Microsensors > Micromachines

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