Microsensor, MEMS and smart devices

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Gardner, Julian W.
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Chichester John Wiley & Sons 2007
Schlagworte:
Microelectronics > Electronics > Semiconductors > MEMS > Microelectromechanical systems > Microsensors > Micromachines

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Signatur: 621.382 GAR
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