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Modeling MEMS and NEMS

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書誌詳細
第一著者:	Pelesko, John A.
その他の著者:	Bernstein, David H.
フォーマット:	Printed Book
言語:	English
出版事項:	Boca Raton Chapman & Hall /CRC 2007
主題:	MEMS- Mathematical models > NEMS- Mathematical models > Microelectromechanical systems > Nanoelectromechanical systems

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