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Modeling MEMS and NEMS

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Pelesko, John A.
Weitere Verfasser:	Bernstein, David H.
Format:	Printed Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Boca Raton Chapman & Hall /CRC 2007
Schlagworte:	MEMS- Mathematical models > NEMS- Mathematical models > Microelectromechanical systems > Nanoelectromechanical systems

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