Hsu, T. (2005). MEMS and microsystems: Design and manufacture. Tata McGraw- Hill.
Trích dẫn kiểu ChicagoHsu, Tai-Ran. MEMS and Microsystems: Design and Manufacture. New Delhi: Tata McGraw- Hill, 2005.
Trích dẫn MLAHsu, Tai-Ran. MEMS and Microsystems: Design and Manufacture. Tata McGraw- Hill, 2005.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.