Hsu, T. (2005). MEMS and microsystems: Design and manufacture. Tata McGraw- Hill.
Chicago-tyylinen lähdeviittausHsu, Tai-Ran. MEMS and Microsystems: Design and Manufacture. New Delhi: Tata McGraw- Hill, 2005.
MLA-viiteHsu, Tai-Ran. MEMS and Microsystems: Design and Manufacture. Tata McGraw- Hill, 2005.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.