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Nano and micro electomechanical systems: fundamentals of nano and microengineering
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boca Raton
CRC Press
2005
|
| Ausgabe: | 2nd ed. |
| Schlagworte: |
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Veröffentlicht: (2015)
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