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Nano and micro electomechanical systems: fundamentals of nano and microengineering
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Printed Book |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton
CRC Press
2005
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| Edizione: | 2nd ed. |
| Soggetti: |
| Descrizione del documento: | |
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| Descrizione fisica: | 722p. |
| ISBN: | 0-8493-2838-1 |