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Nano and micro electomechanical systems: fundamentals of nano and microengineering
| Autor principal: | |
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| Formato: | Printed Book |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Boca Raton
CRC Press
2005
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| Edición: | 2nd ed. |
| Materias: |
| Notas: | |
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| Descripción Física: | 722p. |
| ISBN: | 0-8493-2838-1 |