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Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Anders, Andre' (HerausgeberIn)
Format:	Printed Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	New York John Wiley 2000
Schlagworte:	Ion implantation > Ion bombardment - Industrial application > Plasma(ionised gases) - Industrial application > Mettals - Surfaces > Metals - Finishing

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