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Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Printed Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York
John Wiley
2000
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| Schlagworte: |
UL
| Signatur: |
621.039.64(035) AND |
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| Exemplar | Live-Status nicht verfügbar |