Lataa...
Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition
| Muut tekijät: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Printed Book |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
New York
John Wiley
2000
|
| Aiheet: |
| Huomautukset: | |
|---|---|
| Ulkoasu: | xxiii,736p. |
| ISBN: | 0-471-24698-0 |