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MEMS: introduction and fundamentals

書誌詳細
第一著者:	Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
フォーマット:	Printed Book
言語:	English
出版事項:	Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
版:	2nd ed.
シリーズ:	(Mechanical Engineering)
主題:	Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals

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