MEMS: introduction and fundamentals

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Ausgabe:2nd ed.
Schriftenreihe:(Mechanical Engineering)
Schlagworte:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals

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