MEMS: introduction and fundamentals

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Materialtyp: Printed Book
Språk:English
Publicerad: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Upplaga:2nd ed.
Serie:(Mechanical Engineering)
Ämnen:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Beskrivning
Beskrivning:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Fysisk beskrivning:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

Liknande verk