MEMS: introduction and fundamentals

Библиографические подробности
Главный автор: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Редактирование:2nd ed.
Серии:(Mechanical Engineering)
Предметы:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Описание
Примечание:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Объем:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

Схожие документы