MEMS: introduction and fundamentals

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado em: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Edição:2nd ed.
Colecção:(Mechanical Engineering)
Assuntos:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Descrição
Descrição do item:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Descrição Física:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

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