MEMS: introduction and fundamentals

Opis bibliograficzny
1. autor: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Format: Printed Book
Język:English
Wydane: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Wydanie:2nd ed.
Seria:(Mechanical Engineering)
Hasła przedmiotowe:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Opis
Deskrypcja:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Opis fizyczny:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

Podobne zapisy