MEMS: introduction and fundamentals

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Edizione:2nd ed.
Serie:(Mechanical Engineering)
Soggetti:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Descrizione
Descrizione del documento:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Descrizione fisica:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

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