MEMS: introduction and fundamentals

ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
स्वरूप: Printed Book
भाषा:English
प्रकाशित: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
संस्करण:2nd ed.
श्रृंखला:(Mechanical Engineering)
विषय:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
विवरण
वस्तु वर्णन:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
भौतिक वर्णन:various pagination 3v.
आईएसबीएन:0-8493-9137-7

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