MEMS: introduction and fundamentals

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
פורמט: Printed Book
שפה:English
יצא לאור: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
מהדורה:2nd ed.
סדרה:(Mechanical Engineering)
נושאים:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
תיאור
תאור פריט:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
תיאור פיזי:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

פריטים דומים