MEMS: introduction and fundamentals

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Aineistotyyppi: Printed Book
Kieli:English
Julkaistu: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Painos:2nd ed.
Sarja:(Mechanical Engineering)
Aiheet:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Kuvaus
Huomautukset:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Ulkoasu:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

Samankaltaisia teoksia