MEMS: introduction and fundamentals

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Edizioa:2nd ed.
Saila:(Mechanical Engineering)
Gaiak:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Deskribapena
Alearen deskribapena:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Deskribapen fisikoa:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

Antzeko izenburuak