MEMS: introduction and fundamentals

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Edición:2nd ed.
Colección:(Mechanical Engineering)
Materias:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Descripción
Notas:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Descripción Física:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

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