MEMS: introduction and fundamentals

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Ausgabe:2nd ed.
Schriftenreihe:(Mechanical Engineering)
Schlagworte:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Beschreibung
Beschreibung:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Beschreibung:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

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