MEMS: introduction and fundamentals

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
Edició:2nd ed.
Col·lecció:(Mechanical Engineering)
Matèries:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
Descripció
Descripció de l’ítem:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
Descripció física:various pagination 3v.
ISBN:0-8493-9137-7

Ítems similars