MEMS: introduction and fundamentals

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Gad-el-Hak, Muhamed [ed.] (ed. by)
التنسيق: Printed Book
اللغة:English
منشور في: Boca Raton CRC Taylor & Francis 2006
الطبعة:2nd ed.
سلاسل:(Mechanical Engineering)
الموضوعات:
Microelectronics > Nanotechnology > Microelectromechanical systmes > MEMs-fundamentals
الوصف
وصف المادة:V.1: Introduction and fundamentals, V.2: Design and fabrication, V.3: Applications
وصف مادي:various pagination 3v.
ردمك:0-8493-9137-7

مواد مشابهة