Micro - nano fabrication: technologies and applications

other_versions_link
Библиографические подробности
Главный автор: Cui, Zheng
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: Beijing Higher education press 2005
Предметы:
Optical lithography > Electron beam lithography > Ion beam lithography > Fabrication technologies

UL

Подробно о фондах из UL
Шифр: 621.71.9 CUI
Копировать Недоступно состояние Live" What does mean the status Live (working)

Схожие документы