Micro - nano fabrication: technologies and applications

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Cui, Zheng
स्वरूप: Printed Book
भाषा:English
प्रकाशित: Beijing Higher education press 2005
विषय:
Optical lithography > Electron beam lithography > Ion beam lithography > Fabrication technologies

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बोधानक: 621.71.9 CUI
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