Micro - nano fabrication: technologies and applications

other_versions_link
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Cui, Zheng
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Beijing Higher education press 2005
Schlagworte:
Optical lithography > Electron beam lithography > Ion beam lithography > Fabrication technologies

UL

Bestandesangaben von UL
Signatur: 621.71.9 CUI
Exemplar Live-Status nicht verfügbar

Ähnliche Einträge