Micro - nano fabrication: technologies and applications

other_versions_link
Dades bibliogràfiques
Autor principal: Cui, Zheng
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: Beijing Higher education press 2005
Matèries:
Optical lithography > Electron beam lithography > Ion beam lithography > Fabrication technologies

UL

Detall dels fons de UL
Signatura: 621.71.9 CUI
Còpia Comprovació en temps real no disponible

Ítems similars