Lataa...

QR-koodi

Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Aineistotyyppi:	Printed Book
Kieli:	English
Julkaistu:	Washington SPIE Press 2004
Sarja:	(SPIE milestone series v.178)
Aiheet:	Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography

Samankaltaisia teoksia

Lithography main techniques
Tekijä: Landis, Stefan., ed
Julkaistu: (2011)

A history of Lithography
Tekijä: Weber, Wilhelm
Julkaistu: (1966)

Chemistry and lithography
Tekijä: Okoroanyanwu, Uzodinma; Author
Julkaistu: (2010)

Dry etching for microelectronics
Tekijä: Powell, Ronald A, Ed
Julkaistu: (1984)

Laser microfabrication : thin film processes and lithography /
Julkaistu: (1989)

Reprographic methods
Tekijä: Rowlatt, K T
Julkaistu: (1986)

Microlothography: science and technology
Tekijä: Sheats, James R; Editor, et al.
Julkaistu: (1998)

Plasma processes for semiconductor fabrication
Tekijä: Hitchon, W. Nicholas G.
Julkaistu: (1999)

Microlithography : science and technology /
Julkaistu: (1998)

Micro - nano fabrication: technologies and applications
Tekijä: Cui, Zheng
Julkaistu: (2005)

Etching of crystals : theory, experiment, and application /
Tekijä: Sangwal, Keshra
Julkaistu: (1987)

Functional electronics
Tekijä: Ramanan, K V
Julkaistu: (1997)

Laser microfabrication : thin film processes and lithography
Tekijä: Ehrlich, Daniel, J.
Julkaistu: (1989)

Photopolymerisation and photoimaging science and technology /
Julkaistu: (1989)

Optical integrated cicuits
Tekijä: Nishihara, Hiroshi
Julkaistu: (1985)

Integrated Optical circuits and components: design and application
Tekijä: Murphy, Edmond.J
Julkaistu: (1999)

Modern optical engineering : the design of optical systems
Tekijä: Smith, Warren, J.
Julkaistu: (1990)

Introduction to nanoelectronic single-electron circuit design /
Tekijä: Hoekstra, Jaap
Julkaistu: (2010)

Digital integrated circuits : analysis and design /
Tekijä: Ayers, John E.
Julkaistu: (2010)

Analog integrated circuit design
Tekijä: Johns, David
Julkaistu: (2008)

Digital design : principles and practices /
Tekijä: Wakerly, John F.
Julkaistu: (2008)

Digital design : principles and practices /
Tekijä: Wakerly, John F.
Julkaistu: (2008)

Digital design :/4th ed. principles and practices /
Tekijä: Wakerly, John F.
Julkaistu: (2006)

Analog Integrated Circuit Design
Tekijä: David Johns and Kenneth W. Martin
Julkaistu: (1997)

Nanoimprint lithography : an enabling process for nanofabrication /
Tekijä: Zhou, Weimin
Julkaistu: (2013)

Laser microfabrication: thin film process and lithography
Tekijä: Laser
Julkaistu: (1989)

The Semiconductor Integrated Circuits Layout-Design Act, 2000
Tekijä: Bare Act
Julkaistu: (2015)

Handbook of optical design
Tekijä: Malacara Hernandez, Daniel
Julkaistu: (2013)

Periodic materials and interference lithography: for photonics, photonics and mechanics
Tekijä: Maldovan, Martin
Julkaistu: (2009)

first course in digital systems design: an integrated approach
Tekijä: Uyemura, John P.
Julkaistu: (2003)

Modern optical engineering : the design of optical systems /
Tekijä: Smith, Warren J.
Julkaistu: (1990)

Procedures in applied optics /
Tekijä: Strong, John, 1905-
Julkaistu: (1989)

Modular optical design /
Tekijä: Stavroudis, O. N.
Julkaistu: (1982)

The science and engineering of microelectronic fabrication /
Tekijä: Campbell, Stephen A.
Julkaistu: (1996)

VLSIDesign for manufacturing yield enhancement
Tekijä: Director, Stephen W.
Julkaistu: (1990)

Integrated Circuits and Semiconductor Devices: Theory and Application
Tekijä: Deboo,Gordon J.
Julkaistu: (1977)

Device electronics for integrated circuits /
Tekijä: Muller, Richard S.
Julkaistu: (1977)

Electronic circuits : design and applications /
Tekijä: Tietze, U.
Julkaistu: (1991)

Solid-state devices and integrated circuits /
Tekijä: Cooper, William David
Julkaistu: (1982)

Patterning of materian layers in submicron region
Tekijä: Tandon, U S; Khokle, W S
Julkaistu: (1993)