Lanean...

Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: Washington SPIE Press 2004
Saila:(SPIE milestone series v.178)
Gaiak:

Antzeko izenburuak