Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Detaylı Bibliyografya
Yazar: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Materyal Türü: Printed Book
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: Washington SPIE Press 2004
Seri Bilgileri:(SPIE milestone series v.178)
Konular:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography

UL

Detaylı Erişim Bilgileri UL
Yer Numarası: 621.3.049.77 SCH
Kopya Bilgisi Konumu erişilebilir değil.

Benzer Materyaller