Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: Washington SPIE Press 2004
Saila:(SPIE milestone series v.178)
Gaiak:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography

UL

Aleari buruzko argibideak UL
Sailkapena: 621.3.049.77 SCH
Alea Egoera zuzenean ez dago erabilgarri

Antzeko izenburuak