Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
বিন্যাস: Printed Book
ভাষা:English
প্রকাশিত: Washington SPIE Press 2004
মালা:(SPIE milestone series v.178)
বিষয়গুলি:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography

UL

হোল্ডিংসের বিবরণ UL
ডাক সংখ্যা: 621.3.049.77 SCH
প্রতিলিপি বর্তমান অবস্থা অনুপলব্ধ

অনুরূপ উপাদানগুলি