Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Định dạng: Printed Book
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: Washington SPIE Press 2004
Loạt:(SPIE milestone series v.178)
Những chủ đề:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
Miêu tả
Mô tả vật lý:xx, 875p.
số ISBN:0-8194-5166-5

Những quyển sách tương tự