Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Библиографические подробности
Главный автор: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: Washington SPIE Press 2004
Серии:(SPIE milestone series v.178)
Предметы:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
Описание
Объем:xx, 875p.
ISBN:0-8194-5166-5

Схожие документы