Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Opis bibliograficzny
1. autor: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Format: Printed Book
Język:English
Wydane: Washington SPIE Press 2004
Seria:(SPIE milestone series v.178)
Hasła przedmiotowe:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
Opis
Opis fizyczny:xx, 875p.
ISBN:0-8194-5166-5

Podobne zapisy