Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Formaat: Printed Book
Taal:English
Gepubliceerd in: Washington SPIE Press 2004
Reeks:(SPIE milestone series v.178)
Onderwerpen:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
Omschrijving
Fysieke beschrijving:xx, 875p.
ISBN:0-8194-5166-5

Gelijkaardige items