Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

書誌詳細
第一著者: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
フォーマット: Printed Book
言語:English
出版事項: Washington SPIE Press 2004
シリーズ:(SPIE milestone series v.178)
主題:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
その他の書誌記述
物理的記述:xx, 875p.
ISBN:0-8194-5166-5

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