Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
פורמט: Printed Book
שפה:English
יצא לאור: Washington SPIE Press 2004
סדרה:(SPIE milestone series v.178)
נושאים:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
תיאור
תיאור פיזי:xx, 875p.
ISBN:0-8194-5166-5

פריטים דומים