Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Aineistotyyppi: Printed Book
Kieli:English
Julkaistu: Washington SPIE Press 2004
Sarja:(SPIE milestone series v.178)
Aiheet:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
Kuvaus
Ulkoasu:xx, 875p.
ISBN:0-8194-5166-5

Samankaltaisia teoksia