Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Μορφή: Printed Book
Γλώσσα:English
Έκδοση: Washington SPIE Press 2004
Σειρά:(SPIE milestone series v.178)
Θέματα:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:xx, 875p.
ISBN:0-8194-5166-5

Παρόμοια τεκμήρια