Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: Washington SPIE Press 2004
Col·lecció:(SPIE milestone series v.178)
Matèries:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
Descripció
Descripció física:xx, 875p.
ISBN:0-8194-5166-5

Ítems similars