Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Schellenberg, F.M. [ed.] (ed. by)
التنسيق: Printed Book
اللغة:English
منشور في: Washington SPIE Press 2004
سلاسل:(SPIE milestone series v.178)
الموضوعات:
Integrated circuits-design and construction > Microlithography > Photolithography > semiconductors-Etching > Optical lithography
الوصف
وصف مادي:xx, 875p.
ردمك:0-8194-5166-5

مواد مشابهة