Schellenberg, F. [. (2004). Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography-Bellingham. SPIE Press.
Trích dẫn kiểu ChicagoSchellenberg, F.M. [ed.]. Selected Papers on Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography-Bellingham. Washington: SPIE Press, 2004.
Trích dẫn MLASchellenberg, F.M. [ed.]. Selected Papers on Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography-Bellingham. SPIE Press, 2004.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.